全國咨詢熱線15920386681近年來，RTO作為一種高凈化效率、高熱效率的有機(jī)廢氣治理技術(shù)被廣泛應(yīng)用于化工和原料藥行業(yè)的有機(jī)廢氣治理項目中，而當(dāng)RTO應(yīng)用在半導(dǎo)體、液晶面板等產(chǎn)生含硅廢氣的行業(yè)中卻顯得捉襟見肘，因為廢氣中的含硅有機(jī)物燃燒后的產(chǎn)物對RTO的蓄熱陶瓷體影響是非常嚴(yán)重的。如何應(yīng)對含硅有機(jī)廢氣對RTO的影響以及如何治理含硅廢氣將成為企業(yè)必須要關(guān)注的問題
一般的有機(jī)廢氣VOCs分子只含C、H、O元素，若有機(jī)廢氣VOCs分子中還包含Si元素，則此類VOCs可被稱為含硅有機(jī)物。通過調(diào)研常見含硅有機(jī)物的MSDS（物質(zhì)安全數(shù)據(jù)表）發(fā)現(xiàn)，含硅有機(jī)物的燃燒產(chǎn)物均包含SiO2。即含硅有機(jī)物經(jīng)過RTO高溫氧化分解后，C、H、O等元素可以轉(zhuǎn)變?yōu)镃O2和H2O，Si元素轉(zhuǎn)變?yōu)镾iO2。有機(jī)廢氣治理行業(yè)中，常見的含硅有機(jī)物及RTO燃燒產(chǎn)物見表1。
表1 常見的含硅有機(jī)物
含硅有機(jī)物高溫燃燒氧化后產(chǎn)生的SiO2在蓄熱陶瓷填料表面形成結(jié)晶，蓄熱陶瓷采用硅鋁系耐火材料，由于硅鋁酸鹽與SiO2結(jié)晶的相近性，導(dǎo)致SiO2與陶瓷表面的硅鋁酸鹽以類似于化學(xué)鍵的形式牢固地結(jié)合在一起，宏觀上表現(xiàn)為SiO2結(jié)晶在蓄熱陶瓷表面生長，占據(jù)蓄熱陶瓷的孔道。
蓄熱陶瓷被SiO2堵塞初期，SiO2沉積會造成床層有效通徑減小，床層阻力壓降增加，蓄熱陶瓷體的孔道通風(fēng)面積變小，RTO系統(tǒng)壓力增大后，RTO系統(tǒng)的主風(fēng)機(jī)的電耗增大，對應(yīng)的電耗增加。隨著時間推移，蓄熱陶瓷體孔道中的SiO2逐漸增加，最終被 SiO2 全部占滿，導(dǎo)致車間的排風(fēng)量減少，或RTO系統(tǒng)壓力降過大，觸發(fā)RTO系統(tǒng)緊急停車，影響車間的正常生產(chǎn)。根據(jù)工程經(jīng)驗，一般蓄熱陶瓷體上層堵塞最為嚴(yán)重，第二層陶瓷同樣被SiO2堵塞，但情況相對層較輕。SiO2堵塞RTO蓄熱陶瓷實物見圖1。
根據(jù)我司工程經(jīng)驗，一般蓄熱陶瓷體上層堵塞最為嚴(yán)重，第二層陶瓷同樣被SiO2堵塞，但情況相對層較輕，針對這一情況，可在蓄熱陶瓷上方鋪設(shè)一層散堆狀鞍環(huán)陶瓷填料，以保證蓄熱陶瓷體不會因為二氧化硅堵塞而影響通風(fēng)，延長清洗或者更換陶瓷的周期。
（1）如果二氧化硅的生成量不大，并且沒有和其他產(chǎn)物生成玻璃層狀沉積物，可直接在床層內(nèi)進(jìn)行清理。
（2）停爐維護(hù)的時候先要用工業(yè)吸塵器清理最上層蓄熱陶瓷表面的硅粉，包括氧化室內(nèi)壁，保溫棉上附著粉末和絮狀的SiO2，防止RTO啟動時粉塵落在蓄熱體頂部，然后再用高壓水槍沖洗。若直接用水清洗，高壓水槍會把上層粉末沖到下層，堵塞中上層蓄熱體。
客服1 
客服2 